- 國產(chǎn)MEMS壓力傳感器正在進入高端應用市場
- 汽車電子、新型數(shù)字消費電子和醫(yī)療電子對MEMS傳感器需求大
在軍事工程、化爆試驗、石油勘采與試井、土木工程學、巖土力學、創(chuàng)傷醫(yī)學、液壓動力機械試驗等科學試驗與現(xiàn)代化儀器儀表中,需要不失真地測量一些變化頻率高、壓力波形上升快陡的動態(tài)壓力波形與幅值、有效值,要求所用壓力傳感器具有較高的固有頻率、極短的上升時間和寬廣優(yōu)良的響應頻帶,以保證足夠的動態(tài)測壓精度。
隨著測量技術的飛速發(fā)展,對傳感器提出了更高的要求,尤其在高精度的流體動力學測試中,要求傳感器具有良好的動態(tài)特性。為了不影響流場狀態(tài),提高測量的精度,還需壓力傳感器具有極小和極薄的外形,一般來講,外徑約為2 mm~8mm,或厚度2 mm~5mm,傳感器的尺寸漸趨小型化。近二十年來,壓力傳感器行業(yè)明顯加快了壓阻式替代淘汰應變式、厚膜陶瓷式壓力傳感器的步伐,MEMS技術逐步成為產(chǎn)業(yè)化技術主流。
受自身技術條件限制, 國內(nèi)大多數(shù)壓力傳感器企業(yè)多把國內(nèi)外產(chǎn)硅MEMS OEM產(chǎn)品作為壓力傳感器的關鍵部件,組裝后再行銷售,進入行業(yè)的門檻較低,資金運轉快。但對有高難度要求的高檔傳感器,企業(yè)既買不到相應的硅MEMS OEM產(chǎn)品,又不具備相應設計與特殊制作技術,因此基本無法進入這一細分市場。昆山雙橋傳感器測控技術有限公司充分利用其技術積累,從核心元件關鍵技術做起,基于MEMS微機械加工技術,自行研制的微型動態(tài)壓阻壓力傳感器能確保力敏硅膜片有效尺寸更小,固有頻率更高;此外,利用硅優(yōu)良的彈性力學特性,尤其是極高的楊氏彈性模量,加之低的電橋內(nèi)阻抗,不僅利于獲得高頻響,而且有低至亞微秒的上升時間及非常干凈的幅頻特性曲線,可廣泛應用于要求傳感器尺寸小、對測試流場影響小、動態(tài)特性好的空氣動力學研究、風洞測控試驗等高端應用領域。微型壓力傳感器產(chǎn)品在雙橋傳感器公司已形成系列化,主要產(chǎn)品有Ф2mm、Ф3mm、Ф5mm、Ф8mm,涵蓋了對水、氣、油等多種介質(zhì)的測量。產(chǎn)品完全為公司自主設計和開發(fā),具有獨立的自主知識產(chǎn)權,表明國內(nèi)企業(yè)在開發(fā)高、特、難、新壓力傳感器方面已經(jīng)具有很強的技術實力。
汽車電子、新型數(shù)字消費電子和醫(yī)療電子等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,對MEMS傳感器的各種新需求和基于該技術的創(chuàng)新不斷涌現(xiàn),MEMS傳感器的市場機會逐步顯現(xiàn)。此前昆山雙橋傳感器測控技術有限公司的基于MEMS技術的汽車壓力傳感器早已批量應用于汽車電子產(chǎn)業(yè)。另據(jù)該公司透露,未來的2年~3年,通用壓力傳感器的智能化生產(chǎn)技術將成為產(chǎn)業(yè)的熱點和焦點,為此,他們著重針對汽車壓力傳感器和特種傳感器市場,制定了相應的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展策略,為客戶專制開發(fā),在商業(yè)模式上采取藍海戰(zhàn)略,以高技術保證公司在細分市場上的成功。從昆山雙橋的行動上可以看出,國產(chǎn)MEMS壓力傳感器產(chǎn)品正在向汽車電子及一些高端應用等市場滲透。