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CMEMS技術(shù):批量CMOS制造工藝生產(chǎn)基于EMS的頻率控制器件

發(fā)布時間:2014-02-28 責(zé)任編輯:mikeliu

【導(dǎo)讀】在過去的五年里,微機電系統(tǒng)(MEMS)解決方案已經(jīng)穩(wěn)步進入由石英晶體解決方案壟斷上百年的頻率控制和定時產(chǎn)品市場。MEMS技術(shù)最初源于對更小外形尺寸的追求,目前已呈現(xiàn)出顯著的其他優(yōu)勢,包括交付時間、供應(yīng)穩(wěn)定性、產(chǎn)品可靠性、器件尺寸和性價比等,這些優(yōu)勢使基于MEMS的振蕩器占有部分基于石英的頻率控制市場。

依賴傳統(tǒng)技術(shù),基于石英的頻率控制設(shè)計有很多限制,例如需要更高專業(yè)化和復(fù)雜生產(chǎn)流程,基于陶瓷的特殊包裝(如圖1所示),需要密閉可靠的腔體以及片外匹配電容,對環(huán)境因素敏感,尤其是熱力、沖擊和振動,可能導(dǎo)致現(xiàn)場故障。

CMEMS技術(shù):批量CMOS制造工藝生產(chǎn)基于EMS的頻率控制器件

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