【導(dǎo)讀】本系列文章詳細(xì)介紹了半導(dǎo)體后端工藝，涵蓋了從不同類(lèi)型的半導(dǎo)體封裝、封裝工藝及材料等各個(gè)方面。作為本系列的收篇之作，本文將介紹半導(dǎo)體的可靠性測(cè)試及標(biāo)準(zhǔn)。除了詳細(xì)介紹如何評(píng)估和制定相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)以外，還將介紹針對(duì)半導(dǎo)體封裝預(yù)期壽命、半導(dǎo)體封裝在不同外部環(huán)境中的可靠性，及機(jī)械可靠性等評(píng)估方法。
本系列文章詳細(xì)介紹了半導(dǎo)體后端工藝，涵蓋了從不同類(lèi)型的半導(dǎo)體封裝、封裝工藝及材料等各個(gè)方面。作為本系列的收篇之作，本文將介紹半導(dǎo)體的可靠性測(cè)試及標(biāo)準(zhǔn)。除了詳細(xì)介紹如何評(píng)估和制定相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)以外，還將介紹針對(duì)半導(dǎo)體封裝預(yù)期壽命、半導(dǎo)體封裝在不同外部環(huán)境中的可靠性，及機(jī)械可靠性等評(píng)估方法。
什么是產(chǎn)品可靠性？
半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量取決于其是否可以充分滿(mǎn)足指定的標(biāo)準(zhǔn)及特性；而半導(dǎo)體產(chǎn)品的可靠性，是指在一定時(shí)間內(nèi)無(wú)故障運(yùn)行，從而提高客戶(hù)滿(mǎn)意度和復(fù)購(gòu)率的能力。以此為前提，失效是指在產(chǎn)品使用過(guò)程中發(fā)生的故障，而缺陷是指在產(chǎn)品制造或檢驗(yàn)過(guò)程中發(fā)生的錯(cuò)誤。因此，產(chǎn)品缺陷屬于質(zhì)量問(wèn)題，而產(chǎn)品在保修期內(nèi)頻繁出現(xiàn)故障則屬于可靠性問(wèn)題。
圖1：質(zhì)量與可靠性的區(qū)別（? HANOL出版社）
圖1列舉了質(zhì)量及可靠性在含義和特性方面的區(qū)別。具體來(lái)講，可靠性是指系統(tǒng)、零件或材料在特定的時(shí)間、距離或使用頻次下，保持初始質(zhì)量和性能的能力。要滿(mǎn)足這一點(diǎn)，就必須要求產(chǎn)品在指定條件下，如規(guī)定使用方式或特定的環(huán)境因素中保持無(wú)故障運(yùn)行狀態(tài)。因此，半導(dǎo)體企業(yè)在產(chǎn)品量產(chǎn)前，必須先評(píng)估產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性是否達(dá)到行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。此外，在產(chǎn)品量產(chǎn)期間，企業(yè)也應(yīng)定期檢查產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。
評(píng)估產(chǎn)品可靠性最為重要的一步，是事先明確可靠性評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)。舉例來(lái)說(shuō)，如果一家企業(yè)準(zhǔn)備出貨100件產(chǎn)品，那么該企業(yè)則需要考慮以下問(wèn)題：這些產(chǎn)品中有多少件在三年后依然可以正常使用？產(chǎn)品使用期間的運(yùn)行模式？能否保證90%的產(chǎn)品在五年后仍可正常使用？95%的產(chǎn)品可以正常使用多長(zhǎng)時(shí)間？
驗(yàn)證這些標(biāo)準(zhǔn)需進(jìn)行測(cè)試。理想情況下，產(chǎn)品需接受三年期、五年期甚至更長(zhǎng)期限的測(cè)試，以確保其在不同時(shí)間范圍內(nèi)的可靠性。但如果將大量時(shí)間花費(fèi)在產(chǎn)品評(píng)估上，會(huì)使產(chǎn)品量產(chǎn)時(shí)間大幅度推遲。因此，企業(yè)通常會(huì)采用加速測(cè)試和統(tǒng)計(jì)技術(shù)來(lái)評(píng)估可靠性，此外，還可以通過(guò)可靠性函數(shù)、產(chǎn)品壽命分布、及平均壽命等計(jì)算方式，在較短時(shí)間內(nèi)完成可靠性驗(yàn)證。
國(guó)際半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)化組織(JEDEC)標(biāo)準(zhǔn)
半導(dǎo)體設(shè)計(jì)和制造企業(yè)可以自行評(píng)估旗下產(chǎn)品的可靠性，并將評(píng)估結(jié)果提供給客戶(hù)，客戶(hù)可根據(jù)評(píng)估結(jié)果來(lái)判定產(chǎn)品是否滿(mǎn)足其需求，或自行開(kāi)展可靠性評(píng)估測(cè)試。但如果半導(dǎo)體企業(yè)和客戶(hù)采用的評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)存在差異，那么雙方就不得不對(duì)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行統(tǒng)一，而這是一項(xiàng)非常耗時(shí)的工作。作為解決方案，半導(dǎo)體企業(yè)通常會(huì)采納“國(guó)際半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)化組織旗下固態(tài)技術(shù)協(xié)會(huì)1”（簡(jiǎn)稱(chēng)JEDEC）規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn)，來(lái)同時(shí)滿(mǎn)足企業(yè)及客戶(hù)的需求。
1JEDEC旗下固態(tài)技術(shù)協(xié)會(huì)（JEDEC Solid State Technology Association）：為微電子行業(yè)制定統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)和出版物的領(lǐng)導(dǎo)機(jī)構(gòu)。
JEDEC的主要職責(zé)是幫助制造商和相關(guān)組織，共同審查和制定如集成電路（Integrated Circuit）等電子設(shè)備的統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)。隨著其所制定的標(biāo)準(zhǔn)被廣泛視為國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，JEDEC已成為實(shí)際意義上的全球半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)制定機(jī)構(gòu)。
該組織董事會(huì)（Board of Directors, BoD）負(fù)責(zé)決定政策和程序，并擁有JEDEC標(biāo)準(zhǔn)的最終審批權(quán)。此外，JEDEC下設(shè)眾多委員會(huì)（JEDEC Committee, JC），為各自擅長(zhǎng)的專(zhuān)業(yè)領(lǐng)域制定標(biāo)準(zhǔn)。其中，部分重要的服務(wù)半導(dǎo)體行業(yè)的委員會(huì)及其職責(zé)為：JC-14固態(tài)產(chǎn)品質(zhì)量與可靠性委員會(huì)，負(fù)責(zé)為固態(tài)產(chǎn)品制定相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)；JC-11機(jī)械標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)，負(fù)責(zé)制定模塊及半導(dǎo)體封裝外觀(guān)標(biāo)準(zhǔn)；JC-42固態(tài)存儲(chǔ)器委員會(huì)，負(fù)責(zé)制定DRAM標(biāo)準(zhǔn)；JC-63多芯片封裝委員會(huì)，負(fù)責(zé)制定移動(dòng)多芯片封裝標(biāo)準(zhǔn)。
如果某企業(yè)想要為旗下產(chǎn)品制定標(biāo)準(zhǔn)，首先可以提交標(biāo)準(zhǔn)提案，由相應(yīng)的委員會(huì)成員進(jìn)行投票表決。無(wú)論規(guī)模大小，每家企業(yè)均有一票投票權(quán)。委員會(huì)投票通過(guò)后，標(biāo)準(zhǔn)提案還需經(jīng)由董事會(huì)投票再次表決，兩輪投票通過(guò)后，提案將被確立為JEDEC標(biāo)準(zhǔn)，并向各行業(yè)公示。
評(píng)估產(chǎn)品壽命的可靠性測(cè)試
除國(guó)際評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)外，還有許多用于評(píng)估產(chǎn)品可靠性的指標(biāo)，包括評(píng)估半導(dǎo)體產(chǎn)品壽命的指標(biāo)。
早期失效率
早期失效率（Early Failure Rate, EFR）用于估算產(chǎn)品在用戶(hù)使用環(huán)境下，一年內(nèi)發(fā)生的設(shè)備故障次數(shù)。對(duì)于某些產(chǎn)品而言，由于系統(tǒng)壽命不同，或要求更高標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品可靠性，這一期限可短至六個(gè)月或延長(zhǎng)至一年以上。如圖2所示，老化測(cè)試（Burn-in）2用于篩查可能在短期內(nèi)失效的產(chǎn)品，而早期失效率用于驗(yàn)證篩查后產(chǎn)品的潛在失效率是否保持在可接受的水平。測(cè)試條件根據(jù)相關(guān)半導(dǎo)體產(chǎn)品的溫度及電壓加速因子進(jìn)行設(shè)定和評(píng)估。
2老化測(cè)試（Burn-in）：是指對(duì)產(chǎn)品施加電壓和溫度應(yīng)力，以便在早期階段消除產(chǎn)品潛在缺陷的測(cè)試。封裝后執(zhí)行的老化測(cè)試被稱(chēng)為“老化中測(cè)試（TBDI）”。
圖2：浴盆曲線(xiàn)中的早期失效率（EFR）區(qū)，及產(chǎn)品失效率隨時(shí)間發(fā)生變化的三個(gè)階段（? HANOL出版社）
高低溫工作壽命測(cè)試
高溫工作壽命（High Temperature Operating Life Test, HTOL）測(cè)試是最常見(jiàn)的產(chǎn)品壽命評(píng)估類(lèi)型之一，旨在評(píng)估產(chǎn)品在使用期間由溫度和電壓應(yīng)力引起的問(wèn)題。高溫工作壽命測(cè)試是相對(duì)全面的測(cè)試方式，它不僅可以評(píng)估早期失效，同時(shí)可以識(shí)別由事故或損耗造成的失效問(wèn)題。同樣，低溫工作壽命（Low Temperature Operating Life Test, LTOL）測(cè)試可用于評(píng)估因受到熱載流子（Hot Carrier）3影響而發(fā)生失效的概率，但由于施加了電壓和溫度，也存在導(dǎo)致產(chǎn)品失效的其它情況發(fā)生。
3熱載流子（Hot Carrier）：晶體管尺寸縮小并導(dǎo)致通道變短后，電場(chǎng)會(huì)被增強(qiáng)。熱載流子是在此現(xiàn)象發(fā)生后，所產(chǎn)生的極度活躍的移動(dòng)電子。一般來(lái)說(shuō)，這種短通道效應(yīng)發(fā)生在半導(dǎo)體晶體管中。
高溫存儲(chǔ)壽命測(cè)試
高溫存儲(chǔ)壽命（High Temperature Storage Life, HTSL）測(cè)試用于評(píng)估產(chǎn)品在高溫儲(chǔ)存條件下的可靠性。受擴(kuò)散、氧化、金屬間化合物形成、及封裝材料化學(xué)降解等因素影響，高溫儲(chǔ)存條件可能會(huì)對(duì)產(chǎn)品壽命產(chǎn)生影響。
耐久性和數(shù)據(jù)保留性能測(cè)試
耐久性測(cè)試用于評(píng)估NAND閃存等產(chǎn)品可以承受的編程/擦除（Program/Erase, P/E）周期的次數(shù)。對(duì)于NAND產(chǎn)品而言，一個(gè)關(guān)鍵的可靠性評(píng)估指標(biāo)是數(shù)據(jù)保留能力。該指標(biāo)衡量的是，在無(wú)電源供應(yīng)情況下的一定時(shí)間內(nèi)，數(shù)據(jù)在存儲(chǔ)單元中可保留的時(shí)長(zhǎng)。
各種外部環(huán)境條件下的可靠性測(cè)試
導(dǎo)致半導(dǎo)體產(chǎn)品失效的外部環(huán)境條件誘因有許多。因此，產(chǎn)品在被運(yùn)往目的地之前，需接受特定環(huán)境條件下的可靠性測(cè)試，以確保其能夠經(jīng)受住不同環(huán)境條件的考驗(yàn)。
預(yù)處理測(cè)試
完成產(chǎn)品裝運(yùn)和儲(chǔ)存后，可通過(guò)預(yù)處理測(cè)試來(lái)評(píng)估客戶(hù)使用過(guò)程中可能出現(xiàn)的問(wèn)題，如吸濕性（Hygroscopic）4和熱應(yīng)力等影響產(chǎn)品可靠性的因素。預(yù)處理通過(guò)模擬產(chǎn)品在出售、運(yùn)送給客戶(hù)的過(guò)程中、打開(kāi)真空包裝，及系統(tǒng)安裝等各個(gè)環(huán)節(jié)的狀態(tài)，評(píng)估其在潮濕條件下的可靠性。預(yù)處理是環(huán)境條件可靠性測(cè)試的先決條件，包括溫濕度偏壓（Temperature Humidity Bias, THB）測(cè)試、高加速應(yīng)力（Highly Accelerated Stress Test, HAST）測(cè)試及熱循環(huán)（Thermal Cycle, TC）測(cè)試。
4吸濕性（Hygroscopic）：從空氣中吸收水分的現(xiàn)象。在半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)，此現(xiàn)象會(huì)導(dǎo)致半導(dǎo)體器件失效。
評(píng)估順序依次為熱循環(huán)、烘烤、吸熱、回流焊。圖3展示了將預(yù)處理測(cè)試應(yīng)用于封裝、運(yùn)輸和系統(tǒng)安裝環(huán)節(jié)等的流程。
圖3 生產(chǎn)、運(yùn)輸和使用與預(yù)處理測(cè)試條件的關(guān)系（? HANOL出版社）
熱循環(huán)測(cè)試
熱循環(huán)（TC）測(cè)試是評(píng)估產(chǎn)品在不同的用戶(hù)環(huán)境中，可能出現(xiàn)的瞬時(shí)溫度變化時(shí)產(chǎn)品的耐受性。半導(dǎo)體封裝和模塊由不同材料組成，而不同材料的熱膨脹系數(shù)（Coefficient of Thermal Expansion, CTE）5各不相同，這會(huì)導(dǎo)致由于應(yīng)力作用而引起的疲勞失效，這種應(yīng)力一般是在熱變化發(fā)生后，因膨脹和收縮所產(chǎn)生的。
5熱膨脹系數(shù)（Coefficient of Thermal Expansion）：一種材料性能，用于表示材料在受熱情況下膨脹的程度。
熱循環(huán)測(cè)試的主要目的是測(cè)量溫度變化時(shí)，半導(dǎo)體封裝承受應(yīng)力的能力，但高溫和低溫應(yīng)力也可能導(dǎo)致許多其它失效問(wèn)題。長(zhǎng)時(shí)間的熱沖擊可用于驗(yàn)證半導(dǎo)體各種封裝材料因應(yīng)力和熱膨脹因素，造成的界面分層（Interfacial Delamination）6、內(nèi)外封裝裂紋、芯片裂紋的可能性。此外，由于綠色產(chǎn)品法規(guī)對(duì)鉛等有害物質(zhì)使用的限制，以及便攜式移動(dòng)設(shè)備等應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)展，焊點(diǎn)的重要性與日俱增，而熱循環(huán)也是評(píng)估焊點(diǎn)可靠性的一種有效測(cè)試方法。
6界面分層（Interfacial Delamination）：指半導(dǎo)體封裝中，界面相互分離。
溫濕度貯存測(cè)試和溫濕度偏壓測(cè)試
溫濕度貯存（Temperature Humidity Storage, THS）測(cè)試用于評(píng)估半導(dǎo)體產(chǎn)品承受高溫和高濕條件下的耐受性。為了確定合適的曝露時(shí)間，建議通過(guò)測(cè)量打開(kāi)防潮包裝后的吸濕量以模擬實(shí)際的使用環(huán)境。同時(shí)，溫濕度偏壓（THB）測(cè)試通過(guò)向產(chǎn)品施加電偏壓（Electrical Bias）7的方法來(lái)評(píng)估其防潮性能。盡管大多數(shù)失效原因是由鋁腐蝕引起的，但溫度應(yīng)力也會(huì)造成其它潛在問(wèn)題。該測(cè)試還可以用于檢測(cè)其它封裝可靠性問(wèn)題，例如濕氣滲入引線(xiàn)間細(xì)小空隙或模塑孔而引發(fā)的焊盤(pán)金屬腐蝕問(wèn)題，以及濕氣透過(guò)保護(hù)膜空隙滲入而導(dǎo)致的失效問(wèn)題等。
7電偏壓（Electrical Bias）：在兩點(diǎn)之間施加直流電（DC）以控制電路。
高壓爐測(cè)試
高壓爐測(cè)試（Pressure Cooker Test, PCT）是一種早期評(píng)估耐濕性的理想方式，其測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)相較于溫濕度貯存測(cè)試和溫濕度偏壓測(cè)試更為嚴(yán)格。高壓爐測(cè)試又名蒸壓器（Autoclave）8測(cè)試，該測(cè)試是在100%相對(duì)濕度和高壓的情況下，通過(guò)濕氣滲透來(lái)評(píng)估模塑材料的耐濕性以及模塑結(jié)構(gòu)的可靠性。此外，該測(cè)試還可以用于檢測(cè)由引線(xiàn)及模塑通孔間濕氣滲透所導(dǎo)致的產(chǎn)品失效。
8蒸壓器（Autoclave）：一種高壓器具。在高壓容器處于高溫密封的情況下加入水，水會(huì)蒸發(fā)，從而增加壓力和濕度，為高壓容器內(nèi)的樣品創(chuàng)造必要條件。
類(lèi)似于溫濕度儲(chǔ)存測(cè)試，高壓爐測(cè)試曾是用于厚半導(dǎo)體封裝可靠性測(cè)試的重要方法。然而，從目前JEDEC的評(píng)估結(jié)果及最新的國(guó)際趨勢(shì)來(lái)看，高壓爐測(cè)試對(duì)于當(dāng)前的封裝來(lái)說(shuō)，應(yīng)力幅度過(guò)大。因此，這項(xiàng)測(cè)試方法需根據(jù)封裝類(lèi)型有選擇性地使用。高壓爐測(cè)試主要用于引線(xiàn)框架產(chǎn)品，而無(wú)偏壓高加速應(yīng)力測(cè)試（UHAST）主要應(yīng)用于基板產(chǎn)品。
無(wú)偏壓的高加速應(yīng)力測(cè)試、高加速應(yīng)力測(cè)試和高加速壽命測(cè)試
無(wú)偏壓高加速應(yīng)力測(cè)試（UHAST）是通過(guò)對(duì)薄封裝的基底類(lèi)型產(chǎn)品，如細(xì)間距球柵陣列封裝（FBGA）產(chǎn)品施加與高壓爐測(cè)試相似的應(yīng)力，來(lái)評(píng)估產(chǎn)品可靠性。這兩項(xiàng)測(cè)試在識(shí)別和發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品失效類(lèi)型方面也有相同之處，高壓爐測(cè)試采用飽和濕度或100%相對(duì)濕度來(lái)施加應(yīng)力；而無(wú)偏壓高加速應(yīng)力測(cè)試，則采用與用戶(hù)環(huán)境相似的相對(duì)濕度為85%的非飽和濕度條件。該測(cè)試方法主要采用電偶腐蝕（Galvanic Corrosion）9或直接化學(xué)腐蝕。
9電偶腐蝕（Galvanic Corrosion）：一種當(dāng)較活潑的陽(yáng)極金屬與較耐腐蝕的陰極金屬在電解質(zhì)溶液中接觸時(shí)，較活潑的金屬易被腐蝕的電化學(xué)過(guò)程。
另一項(xiàng)評(píng)估是高加速應(yīng)力測(cè)試（HAST），用于評(píng)估非密封封裝在潮濕環(huán)境下的可靠性。這項(xiàng)測(cè)試采用與溫濕度偏壓測(cè)試相同的方法， 引腳在靜態(tài)偏壓的狀態(tài)下，繼續(xù)向其施加溫度、濕 濕度及壓力應(yīng)力。最后是高加速壽命測(cè)試（HALT），這是一種快速應(yīng)力測(cè)試，有助于在產(chǎn)品設(shè)計(jì)階段識(shí)別和糾正設(shè)計(jì)缺陷。
機(jī)械因素可靠性測(cè)試
半導(dǎo)體產(chǎn)品在搬運(yùn)、儲(chǔ)存、運(yùn)輸和運(yùn)行過(guò)程中，會(huì)受到機(jī)械、氣候和電氣因素造成的環(huán)境壓力，這些負(fù)荷會(huì)嚴(yán)重影響產(chǎn)品的設(shè)計(jì)可靠性。因此，有必要對(duì)開(kāi)發(fā)中或批量生產(chǎn)的產(chǎn)品進(jìn)行評(píng)估，以監(jiān)測(cè)此類(lèi)異常情況。在評(píng)估過(guò)程中，制造商可對(duì)產(chǎn)品施加振動(dòng)、沖擊或跌落等物理應(yīng)力。
沖擊測(cè)試
沖擊測(cè)試通過(guò)模擬產(chǎn)品在搬運(yùn)和運(yùn)輸中可能受到的沖擊，來(lái)評(píng)估產(chǎn)品的抗沖擊力。典型的沖擊測(cè)試包括錘擊測(cè)試和跌落測(cè)試。錘擊測(cè)試時(shí)將測(cè)試樣品固定在適當(dāng)位置，然后用錘子敲擊；跌落測(cè)試是指讓產(chǎn)品自由向下跌落。錘擊測(cè)試用于評(píng)估產(chǎn)品可承受的錘擊力和脈沖承受能力，以及沖擊次數(shù)。而跌落測(cè)試中，測(cè)試樣品需要在1-1.2米的高度自由向下跌落，以模擬用戶(hù)的實(shí)際工作環(huán)境。
振動(dòng)、彎曲和扭轉(zhuǎn)測(cè)試
振動(dòng)測(cè)試是用于產(chǎn)品在運(yùn)輸期間可能發(fā)生振動(dòng)的抵抗力評(píng)估，通常采用符合JEDEC標(biāo)準(zhǔn)的正弦振動(dòng)（Sine Vibration）10實(shí)驗(yàn)方式。
10正弦振動(dòng)（Sine Vibration）：頻率隨時(shí)間而變化的振動(dòng)。
其它測(cè)試還包括彎曲測(cè)試和扭轉(zhuǎn)測(cè)試。彎曲測(cè)試用于評(píng)估因印刷電路板（PBC）翹曲或彎曲造成的焊點(diǎn)缺陷；扭轉(zhuǎn)測(cè)試也被稱(chēng)為扭曲或扭矩測(cè)試，用于評(píng)估受到扭轉(zhuǎn)應(yīng)力時(shí)，產(chǎn)品的焊點(diǎn)問(wèn)題和翹曲承受力。
確保提供可靠的半導(dǎo)體產(chǎn)品
本篇文章所介紹的可靠性測(cè)試及標(biāo)準(zhǔn)，是確保這些重要元件符合當(dāng)今科技世界嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)的根基。從環(huán)境條件測(cè)試、機(jī)械因素測(cè)試，到產(chǎn)品壽命測(cè)試等各項(xiàng)評(píng)估方法，皆體現(xiàn)了半導(dǎo)體行業(yè)致力于生產(chǎn)可靠、耐用產(chǎn)品的決心。值得一提的是，SK海力士不遺余力的堅(jiān)持旗下產(chǎn)品始終采用最高可靠性標(biāo)準(zhǔn)，并不斷超越客戶(hù)預(yù)期。未來(lái)，公司將緊隨不斷發(fā)展的技術(shù)趨勢(shì)，繼續(xù)完善和審查可靠性測(cè)試。
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